Продукты из графита для однокристальной печи
Полупроводниковая промышленность - новое научно-техническое направление, которое в последние годы получило большое внимание. Развитие полупроводниковой технологии немыслимо без применения графитовых материалов в полупроводниковой промышленности. В этой отрасли высокочистые графитовые материалы в основном используются для изготовления графитовых нагревательных систем для однокристальных печей, пресс-форм для синтеризации электронных компонентов, пресс-форм для синтеризации изоляторов и тиристоров, среди прочего. Среди графитовых изделий, используемых в однокристальных печах, наиболее распространены следующие:
Графитовые обогреватели. Требования к системе нагрева в кристаллизаторе из одного кристалла заключаются в обеспечении достаточного тепла для быстрого плавления кремния, германия и т. д., а также возможности удобной настройки и регулировки температуры. Поэтому нагрев обычно осуществляется с использованием методов сопротивления и высокочастотного нагрева.
Электроды из графита, графитовые столбы и другие детали из графита. Помимо использования высокочистого графита для изготовления нагревателей в кристаллизаторе с однокристальным материалом, его также используют для изготовления электродов из графита, графитовых столбов, графитовых изоляционных крышек, держателей для графитовых зерен, графитовых поддонов для шлака и графитовых опор.
Графитовые изоляционные цилиндры.