Produkty grafitowe do pieca jednokryształowego
Przemysł półprzewodnikowy to nowa dziedzina naukowo-techniczna, która w ostatnich latach zyskała dużą uwagę. Rozwój technologii półprzewodnikowych jest nierozerwalnie związany z zastosowaniem materiałów grafitowych w przemyśle półprzewodnikowym. W tym przemyśle, materiały grafitowe o wysokiej czystości są głównie wykorzystywane do produkcji systemów grzewczych z grafitu do pieców jednokryształowych, form do spiekania elementów elektronicznych, form do spiekania izolatorów oraz form do spiekania tyrystorów, między innymi. Wśród produktów grafitowych używanych w piecach jednokryształowych, najczęściej spotykane są następujące:
Grzałki grafitowe. Wymagania dotyczące systemu grzewczego w piecu do wzrostu kryształów polegają na zapewnieniu wystarczającego ciepła do szybkiego topienia krzemu, germanu, itp., oraz na możliwości wygodnego precyzyjnego dostrojenia i regulacji temperatury. Dlatego ogrzewanie zazwyczaj odbywa się za pomocą oporowego i wysokoczęstotliwościowego.
Elektrody grafitowe, słupki grafitowe i inne części grafitowe. Oprócz wykorzystania wysokoczystego grafitu do produkcji grzałek w piecu jednokrystalicznym, stosuje się go również do produkcji elektrod grafitowych, słupków grafitowych, pokryw izolacyjnych z grafitu, pokryw izolacyjnych z grafitu, uchwytów na kryształki siewne z grafitu, tacki na żużel z grafitu i podpór z grafitu.
3. Cylindry izolacyjne z grafitu.