単結晶炉用の黒鉛製品
半導体産業は、近年注目を集めている新しい科学技術分野であり、半導体技術の発展は半導体産業における黒鉛材料の応用と切り離すことはできません。半導体産業では、高純度の黒鉛材料が主に単結晶炉用の黒鉛加熱システム、電子部品焼結金型、絶縁体焼結金型、サイリスタ焼結金型などの製造に使用されています。単結晶炉で使用される黒鉛製品の中で、以下が最も一般的です。
単結晶炉の加熱システムの要件は、ケイ素、ゲルマニウムなどを迅速に溶かすために十分な熱を提供し、温度を細かく調整できることです。そのため、通常は抵抗加熱および高周波加熱法を使用して加熱を行います。
グラファイト電極、グラファイト柱、およびその他のグラファイト部品。単結晶炉でヒーターを製造するために高純度グラファイトを使用するだけでなく、グラファイト電極、グラファイト柱、グラファイト断熱カバー、グラファイト断熱カバー、グラファイトシードクリスタルホルダー、グラファイトスラグトレイ、およびグラファイトサポートを製造するためにも使用されています。
3. グラファイト断熱シリンダー。