Graphitprodukte für Einkristallofen
Die Halbleiterindustrie ist ein neues wissenschaftliches und technologisches Feld, das in den letzten Jahren große Aufmerksamkeit erhalten hat. Die Entwicklung der Halbleitertechnologie ist untrennbar mit der Anwendung von Graphitmaterialien in der Halbleiterindustrie verbunden. In der Halbleiterindustrie werden hochreine Graphitmaterialien hauptsächlich zur Herstellung von Graphitheizsystemen für Einkristallöfen, elektronischen Bauteilsinterformen, Isolatorsinterformen und Thyristorsinterformen verwendet. Unter den in Einkristallöfen verwendeten Graphitprodukten sind die folgenden am häufigsten:
Graphit-Heizgeräte. Die Anforderungen an das Heizsystem in einem Einkristallofen sind, ausreichend Wärme bereitzustellen, um Silizium, Germanium usw. schnell zu schmelzen, und die Temperatur bequem feinabstimmen und einstellen zu können. Daher erfolgt die Beheizung in der Regel mit Widerstands- und Hochfrequenzheizmethoden.
Graphitelektroden, Graphitsäulen und andere Graphitteile. Neben der Verwendung von hochreinem Graphit zur Herstellung von Heizkörpern in einem Einkristallofen wird er auch zur Herstellung von Graphitelektroden, Graphitsäulen, Graphit-Isolierabdeckungen, Graphit-Isolierabdeckungen, Graphitsamenkristallhaltern, Graphitschlackenschalen und Graphitstützen verwendet.
3. Graphit-Isolierzylinder.